離子刻蝕 IBE

上海伯東代理鎧柏科技制造的超導結制備用電子束蒸鍍設備, 鎧柏真空鍍膜機專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. 提供各種類型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化設備, 擅長各種類型系統的集成.

離子刻蝕 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr, 離子源 RFICP 100

離子蝕刻 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr , 離子源 KDC 75

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