上海 Hakuto 離子蝕刻機
Hakuto 日本原裝設計制造離子刻蝕機 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
伯東公司超過 50年的刻蝕 IBE 市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!
Hakuto 離子蝕刻機
伯東離子蝕刻機對磁性材料, 黃金, 鉑和合金金屬提供蝕刻技術. 適合做各種材料的蝕刻.
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型號 |
4 IBE |
7.5 IBE |
16 IBE |
20 IBE-C |
MEL 3100 |
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樣品數量尺寸 |
4”φ, 1片 |
4”φ, 1片 |
6”φ, 1片 |
4”φ, 6片 |
3”φ-6”φ,1片 |
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均勻性 |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
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