pfeiffer 氦質譜檢漏儀

Thermonics 超低溫冰水機, 可以匹配各種熱交換液體媒介
提供18種標準機型, 適用于半導體前端和后端的應用
最高冷卻功率 15 kW
溫度范圍:  -80 至 200 °C
風冷或水冷模式

溫度范圍

穩定性

最高冷卻功率

泵流量 (GPM)

可選

-120 至 200 °C

± 0.5 °C

達到 30 kW

達到 10 GPM

變頻驅動(VFD)

可編程流體壓力和流體流量

自動填充

自動排水

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

2.5

2.5

2.3

2.1

0.6

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-85 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C(在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

3.5

3.5

3.2

2.9

1.8

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-85 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C(在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

5.1

5.1

4.5

4.0

2.5

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-85 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C(在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

4.0

4.0

3.7

3.2

2.8

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-60 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C (在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

4.7

4.7

4.3

3.7

3.1

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-60 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C (在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

6.8

6.8

6.2

5.4

4.7

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-60 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C(在額定負載)

冷卻能力

°C

+25

0

-20

-40

-45

kW

8.0

8.0

4.6

1.1

0.6

冷凝器

水冷

過程加熱

1.7 kw

流體溫度

-40 至 +50 °C

流體穩定性

±0.5 °C (在額定負載)