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Pfeiffer 普發多級羅茨泵(干式真空泵)
上海伯東 Pfeiffer 普發多級羅茨泵 (干式真空泵) 為各種應用提供清潔和干燥的真空環境!提供適合清潔制程應用的 ACP 系列多級羅茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 適合普通制程應用的 A3P 系列和適合嚴苛制程應用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、適合清潔制程應用的干泵
氣冷型多級羅茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保養, 適用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程.
型號 |
接口尺寸 DN |
極限真空度 mbar |
抽速 |
最大漏率 |
重量 |
|
有氣鎮閥 |
無氣鎮閥 |
m3/h |
mbar l/s |
kg |
||
ACP 15 SD |
25 |
0.1 |
3.10-2 |
14 |
< 5.10-7 |
23 |
ACP 28 SD |
25 |
0.1 |
3.10-2 |
27 |
< 5.10-7 |
30 |
ACP 40 SD |
40 |
0.1 |
3.10-2 |
37 |
< 5.10-7 |
32 |
SD: 標準版本, 適用于要求清潔無塵且無腐蝕性氣體的應用設. 標準泵配有氣鎮閥, 可以改善小分子氣體的抽氣能力并避免泵內部冷凝. 三種氣鎮可選,滿足不同應用
G: 抗腐蝕版本, 適用于微量腐蝕性氣體, 三個吹掃氣體噴嘴可保護低壓和高壓軸承, 并稀釋一定量的腐蝕性氣體.
CV: 耐水汽版本, 適用于抽氣環境含有水汽的應用, 純水蒸汽容量擴展至 1,000 g/h
SH: 無氟版本
CP: 氣體回收版本, 通入氣體必須是清潔, 無塵, 無腐蝕性的氣體
緊湊型多級羅茨泵 A 100 L , 用于潔凈制程的整體式干泵
型號 |
進氣口尺寸 DN |
極限壓力 hPa |
抽速 |
噪音比 |
重量 |
m3/h |
dB (A) |
kg |
|||
A 100 L |
50 |
6.6 X 10-3 |
100 |
58 |
100 |
A 100L ES |
50 |
7 X 10-4 |
100 |
55 |
100 |
A 200 L |
50 |
8 X 10-3 |
200 |
58 |
100 |
L: 標準版本 ES: 節能版本
適合工業用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低極限壓力多級羅茨泵 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應用
型號 |
連接尺寸 DN |
吹掃流為50 SL/mn 極限壓強 |
抽速 |
噪音比 |
重量 |
Mbar |
m3/h |
dBA |
kg |
||
ACP 120 |
50 |
NA |
95 |
< 65 |
205 |
ACP 120 G |
50 |
3E-2 |
95 |
< 65 |
205 |
ACG 600 G |
100 |
6 X 10-3 |
480 |
68 |
320 |
二、適合普通制程應用的 A3P 系列, 適用于針對中型工藝的高能效先進技術
具有三款型號可選, 由于產品極大地降低了運營成本, 使其在市場中脫穎而出. 與以往真空泵技術相比, 最高節約能耗可達 50%, 在工藝適應性方面, 該系列真空泵結合了最先進的技術.此外, 由于產品的結構設計緊湊, 使其與傳統的真空泵相比, 可節約高達50%的空間.
三、適合嚴苛制程應用的 ADH , A4H, A4X 系列.