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德國 DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M
Dresden ECRIS-2.45M 離子源是一種產生低電荷單粒子的電子回旋共振離子源, 根據離子種類, 離子束范圍 10 微安到幾毫安.
德國 DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M 技術資料
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功率 |
200W |
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最大電子能量 |
30 kV, 10 mA |
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extraction potential |
6 kV, 50 mA |
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lens potential |
30 kV, 10 mA |
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長度 |
460 mm |
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直徑 |
340 mm |
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重量 |
35 kg |
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beamline flange |
DN 160 CF |
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電力消耗 |
2 kW |
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冷卻 |
風冷, 不需要水冷 |
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真空條件 |
5X10-8 mbar (1X10-5 mbar with working gas) |
