普發氦質譜檢漏儀

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10^-15 hPa.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
最低可檢測分壓 3 X10^-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
 

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

型號	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極桿直徑／長度	6 /125 mm
最小檢測極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小檢測極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
最大工作壓力 F hPa	5X10-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
對臨近質量數的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度 分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子	5 – 50 °C
烘烤溫度 分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹  開放式離子源,
* ²  停留時間 4秒
*³   與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:


Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:

Pfeiffer 殘余氣體分析儀結構視頻

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