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Thermonics 超低溫冰水機
上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 超低溫冰水機, 可以匹配各種熱交換液體媒介, 提供低溫極限 -80°C, -60°C, -40°C 共計 18種標準機型, 低溫冰水機單級壓縮機, 級聯冷卻, 冷凝器水冷或風冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠程通訊. 低溫冰水機方便移動操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于汽車, 能源, 工業化學, 半導體等行業.
Thermonics 超低溫冰水機: 精密溫度控制, 適用于半導體前端和后端的應用, 例如半導體刻蝕設備降溫
. 最高冷卻功率 15 kW
. 溫度范圍: -80 至 200 °C
. 適合各種熱交換流體
. 風冷和水冷模式
. 導熱流體壓力和流量控制
. ISO 9001 和 ITAR 認證
. 可編程的觸摸屏
Thermonics 超低溫冰水機, 風冷型
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型號 |
溫度范圍 |
精度 |
冷卻能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
資料下載 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
6.6 |
6.6 |
4.0 |
1.1 |
0.5 |
- |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
9.5 |
9.5 |
5.4 |
1.9 |
0.7 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
14.5 |
14.5 |
9.6 |
2.7 |
1.2 |
- |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
3.9 |
3.9 |
3.6 |
3.1 |
3.0 |
2.7 |
- |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.6 |
4.6 |
3.7 |
3.5 |
3.4 |
3.0 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.7 |
6.7 |
6.1 |
5.3 |
5.1 |
4.6 |
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30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.3 |
2.3 |
2.2 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.5 |
0.5 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.4 |
3.5 |
3.1 |
2.8 |
2.7 |
2.3 |
2.1 |
1.7 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.0 |
5.1 |
4.5 |
3.9 |
3.8 |
3.3 |
3.1 |
2.4 |
30 |
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Thermonics 超低溫冰水機, 水冷型
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型號 |
溫度范圍 |
精度 |
冷卻能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
資料下載 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
8.0 |
8.0 |
4.6 |
1.1 |
0.6 |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
10.0 |
10.0 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
15.5 |
15.5 |
10.0 |
3.1 |
1.4 |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.0 |
4.0 |
3.7 |
3.2 |
3.1 |
2.8 |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.7 |
4.7 |
4.3 |
3.7 |
3.6 |
3.1 |
1.1 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.8 |
6.8 |
6.2 |
5.4 |
5.2 |
4.7 |
4.0 |
- |
30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.5 |
2.5 |
2.3 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.6 |
0.6 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.5 |
3.5 |
3.2 |
2.9 |
2.8 |
2.4 |
2.2 |
1.8 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.1 |
5.1 |
4.5 |
4.0 |
3.9 |
3.4 |
3.2 |
2.5 |
30 |
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* 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
* 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯絡上海伯東
Thermonics 超低溫冰水機典型應用
1. 半導體行業: 在離子注入機中冷卻硅片夾
2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊
Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業和半導體制造, 例如如下:
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制冷機類型 |
冷卻方式 |
Max.Capacity |
溫度范圍 |
導熱介質 |
應用市場 |
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傳導液制冷 |
水冷 |
5kW @ -20°C |
-40 至 25°C |
Syltherm XLT |
化學 |
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傳導液制冷 |
水冷 |
2.5kW @ -60°C |
-60 至 25°C |
Syltherm XLT |
化學 |
|
傳導液制冷 |
風冷 |
270W @ -50°C |
-50 至 120°C |
HFE-7500 |
半導體 |
|
傳導液制冷 |
風冷 |
300W @ -80°C |
-80 至 200°C |
Syltherm XLT |
國防 |
|
傳導液制冷 |
風冷 |
3KW @ -60°C |
-60 至 20°C |
KRYO 60 |
能源 |
|
氣體制冷 |
風冷 |
-100 °C @ 8 scfm |
-100 °C至空氣 |
清潔,干燥空氣 |
工業 |
|
傳導液制冷 |
水冷 |
2.2KW @ 20°C |
-50 至 40 °C |
HFE-7500 |
半導體 |
|
傳導液制冷 |
水冷 |
12KW @ 15°C |
-15 至 20 °C |
PGW (25%) |
半導體 |
|
氣體制冷 |
風冷 |
-90°C @ 18scfm |
-90 至 225 °C |
清潔,干燥空氣 |
汽車 |
|
傳導液制冷 |
風冷 |
1.5 KW @ -30 °C |
-40 至 50 °C |
Syltherm XLT |
工業 |
|
傳導液制冷 |
水冷 |
3.3KW @ -50°C |
-50 至 20 °C |
Syltherm HF |
汽車 |
Thermonics 低溫冰水機原理:
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Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業中的應用
前端 Front End
離子注入 Ion Implant
蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
沉積設備 Deposition
后端 Back End
各種測試處理 Final Test Handlers:
舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯用.
美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機和超低溫液氮, 液態二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理.